GE50A彈性密封數(shù)字型質(zhì)量流量控制器

GE50A是通用型彈性密封流量控制器，適合流量范圍在5SCCM至50SLM的各種氣體流量控制。該GE50A控制器采用了的數(shù)字流量控制的電子原件及技術(shù)的熱傳感器和機(jī)械設(shè)計(jì)。

GE50A數(shù)字流量控制器可用于模擬和數(shù)字I/O，采用的MKS控制算法，對(duì)設(shè)備設(shè)定控制范圍提供快速、重復(fù)性好響應(yīng)。典型的反應(yīng)時(shí)間是500毫秒的量級(jí)，包括一個(gè)相對(duì)于精度1％的標(biāo)定氣體的數(shù)字校準(zhǔn)功能。能*替代那些相同的I/ O類型的1179A流量計(jì)，所有的GE50A都包括MODBUS備用I/O。

GE50A使用廣泛用于流量為5SCCM至50SLM的流量計(jì)的3英寸標(biāo)準(zhǔn)尺寸，無需修改現(xiàn)有的氣體管線配置。GE50A設(shè)計(jì)采用了zui小的使用彈性體，只有一個(gè)外彈性體密封件和彈性體閥塞。所有的濕潤表面是金屬的，根據(jù)不同的氣體可選擇Viton、Neoprene、Kalrez等密封方式，閥門可選擇常閉或常開。

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)：

1. 的熱傳感器設(shè)計(jì)提供了*的穩(wěn)定性。

2. 出廠校準(zhǔn)使質(zhì)量流量計(jì)控制更精準(zhǔn)。

3. 提供嵌入式用戶界面：

• 能輕松更改控制范圍，減少氣體庫存。

• 顯示裝置實(shí)用且能現(xiàn)場(chǎng)收集數(shù)據(jù)。

4、多選擇的通信方式（Ethercat、Devicenet、Profibus、RS485、模擬（0至5VDS或者4至20mA）I/O

5、有CE標(biāo)志和歐盟ROHS認(rèn)證。