Torr

1x10^-9到大氣壓

Mbar

1.33x10^-9到大氣壓

Pa

1.33x10^-7到大氣壓

X射線極限（注釋4）

Torr

<3x10^-10

Mbar

<4x10^-10

Pa

<4x10^-8

基于環(huán)境壓力的相對壓力測量范圍

Torr

-750到+250

Mbar

-999到333

KPa

-99.9到33.3

精度（對于空氣或N₂的絕壓）（注釋5）

Torr

1x10^-6到100mTorr：+/-15%讀數(shù)；100mTorr到150：+/-10%讀數(shù)；150到1000：+/-2.5%讀數(shù)

Mbar

1.33x10^-6到0.133：+/-15%讀數(shù)；0.133到200：+/-10%讀數(shù)；200到1333：+/-2.5%讀數(shù)

Pa

1.33x10^-6到13.3：+/-15%讀數(shù)；13.3到2x10⁴：+/-10%讀數(shù)；2x10⁴到1.33x10⁵：+/-2.5%讀數(shù)

重復(fù)性（對于空氣或N₂的絕壓）（注釋6）

Torr

1x10^-6到100mTorr：+/-5%讀數(shù)；100mTorr到150：+/-2.5%讀數(shù)；150到1000：+/-1.0%讀數(shù)

Mbar

1.33x10^-6到0.133：+/-5%讀數(shù)；0.133到200：+/-2.5%讀數(shù)；200到1333：+/-1.0%讀數(shù)

Pa

1.33x10^-6到13.3：+/-5%讀數(shù)；13.3到2x10⁴：+/-2.5%讀數(shù)；2x10⁴到1.33x10⁵：+/-1.0%讀數(shù)

精度（相對壓力）

+/-（2.5Torr+2.5%讀數(shù)）；+/-（3.3mbar+2.5%讀數(shù)）；+/-（0.33KPa+2.5%讀數(shù)）

響應(yīng)時間

<25毫秒

模擬量輸出

壓力

對數(shù)，0.5到7.0VDC，0.5V/數(shù)量級

相對壓力

線性，1-5VDC，-750到+250Torr（-1000到+333mbar；-100到+33KPa）

RS-485串口

數(shù)字通訊口

2線，半雙工

通訊格式

ASCII，無奇偶校驗位，1位停止位

波特率

1200,2400,4800,9600,19200（默認），38400

地址

0-63，通過地址選擇開關(guān)選擇或通過RS-485命令

DeviceNet網(wǎng)絡(luò)接口

通訊類型

輪詢I/O和顯示傳送

通訊格式

BOOL，BYTE，STRUCT，SSTRING，REAL，INT，UINT，USINT，EPATH和WORD數(shù)據(jù)

波特率

125,250或500千波，開關(guān)選擇

地址

0-63，通過地址選擇開關(guān)選擇

工作溫度

10-40⁰C（50-104⁰F）不結(jié)露

存放溫度

-40-+70⁰C（-40-+158⁰F）不結(jié)露

烘烤溫度

zui高105⁰C（221⁰F），移除電子器件

電離規(guī)發(fā)射電流

自動量程切換

電離規(guī)自動控制設(shè)定（默認）

電離規(guī)啟動

2x10^-2Torr；2.66x10^-2mbar，2.66Pa，隨壓力上升關(guān)閉

電離規(guī)停止

3x10^-2Torr；3.99x10^-2mbar，3.99Pa，隨壓力上升關(guān)閉

切換至高發(fā)射

5x10^-6Torr；6.66x10^-6mbar，6.66x10^-4Pa，隨壓力上升關(guān)閉

切換至低發(fā)射

1x10^-5Torr；1.33x10^-5mbar，1.33x10^-3Pa，隨壓力上升關(guān)閉

電離規(guī)除氣

電子轟擊；每個燈絲3W一分鐘

電離規(guī)燈絲

鎢絲或鍍氧化釔的銥絲

燈絲操作（注釋7）

交替（氧化釔燈絲的默認模式），自動，手動（鎢絲的默認模式）

熱損失傳感絲

鍍金鎢

規(guī)管容積

10.8cm³（0.65in³）

LED指示

模塊狀態(tài)

I/O連接

RS-485/模擬量：15針D型插針接頭，DeviceNet：5針微型接頭

zui大沖擊電流

RS-485/模擬量：2A 48W 0.5秒，DeviceNet：0.25A

供電要求

RS-485/模擬量：24VDC+10%到-15%，1A 22W額定；DeviceNet：24VDC(11到26.4VDC)額定0.2A

CE認證

EMC電磁兼容指令

89/3361/EEC；EN50081-2，EN50082-2，EN1326-1

低壓指令

73/23/EEC；EN61010-1

顯示選項

圖形液晶

繼電器設(shè)定點選項

僅RS-485或DeviceNet：2SPDT(NO/NC)或3SPST(NO)，每個設(shè)定點都可以獨立分配給絕壓或相對壓力測量

繼電器觸點額定值

zui大

1A  30VDC阻抗

zui小

5mA  5VDC阻抗

重量

728.5g（25.7oz）（2.75CF法蘭）

外殼材料

壓鋁粉末噴涂

暴露于真空下的材質(zhì)

304不銹鋼，鉭，鎢，銥絲鍍氧化釔，氧化鋁，銀銅焊料，可伐，可伐鍍金或鍍鎳，硅酸硼玻璃