膜厚監(jiān)測和控制儀是采用石英晶體振蕩原理，結合頻率測量技術，進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制。
膜厚監(jiān)測和控制儀的特點：
1、可以測量多層膜中每一層的厚度
2、三維的厚度型貌
3、遠程控制和在線測量
4、可做150mmor300mm的大范圍的掃描測試
5、豐富的材料庫:操作軟件的材料庫帶有大量材料的n和k數據,基本上的常用材料都包括在這個材料庫中.用戶也可以在材料庫中輸入沒有的材料.
6、軟件操作簡單,測速快:膜厚測量儀操作非常簡單,測量速度快:100ms-1s.
7、軟件帶有構建材料結構的拓展功能,可對單/多層薄膜數據進行擬合分析,可對薄膜材料進行預先模擬設計.
8、軟件帶有可升級的掃描功能,進行薄膜二維的測試,并將結果以2D或3D的形式顯示.軟件其他的升級功能還包括在線分析軟件,遠程控制模塊等
膜厚監(jiān)測和控制儀使用過程中需要注意以下事項：
1、測量應為點接觸，嚴禁將探頭置于被測物表面滑動。
2、測量時，探頭應保持在待測點中心，探頭外圍不要懸空在待測面外。
3、遠離強磁體（磁鐵、音響等）和強電磁場（變壓器、電磁爐等）測量。
4、儀器使用前，建議進行調零操作。
5、請確保待測物體表面清潔，待測面上的灰塵和泥土等會影響測量結果。
6、儀器顯示lowbattery時，需換新電池。
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